@article{PrallNoevermannRueter2014,
  author    = {Christoph Prall and Ingo Noevermann and Dirk Rueter},
  title     = {Super-Photolumineszenz-Effekte in GaN-Schichten bei erh{\"o}hter Temperatur},
  series   = {Technisches Messen},
  volume    = {81},
  number    = {11},
  issn      = {2196-7113},
  doi       = {https://doi.org/10.1515/teme-2014-1051},
  pages     = {554 -- 559},
  year      = {2014},
  abstract  = {LEDs gelten als umweltfreundliche Beleuchtungstechnik. F{\"u}r die Massenanwendung arbeiten die LED-Hersteller an einer Senkung der Kosten bzw. einer Erh{\"o}hung der Ausbeute, insbesondere bei der aufwendigen LED-Kristallbeschichtung auf den Wafern. W{\"a}hrend der Beschichtung (MOCVD) werden optische In-situ-Messger{\"a}te zur {\"U}berwachung des Prozesses genutzt. Die hier vorgestellte Untersuchung besch{\"a}ftigt sich mit dem Einfluss von Super-Photolumineszenz-Effekten bei einer m{\"o}glichen In-situ-Prozesskontrolle in der MOCVD.},
  language  = {und}
}