TY  - JOUR
U1  - Zeitschriftenartikel, wissenschaftlich - begutachtet (reviewed)
A1  - Prall, Christoph
A1  - Noevermann, Ingo
A1  - Rueter, Dirk
T1  - Super-Photolumineszenz-Effekte in GaN-Schichten bei erhöhter Temperatur
JF  - Technisches Messen
N2  - LEDs gelten als umweltfreundliche Beleuchtungstechnik. Für die Massenanwendung arbeiten die LED-Hersteller an einer Senkung der Kosten bzw. einer Erhöhung der Ausbeute, insbesondere bei der aufwendigen LED-Kristallbeschichtung auf den Wafern. Während der Beschichtung (MOCVD) werden optische In-situ-Messgeräte zur Überwachung des Prozesses genutzt. Die hier vorgestellte Untersuchung beschäftigt sich mit dem Einfluss von Super-Photolumineszenz-Effekten bei einer möglichen In-situ-Prozesskontrolle in der MOCVD.
Y1  - 2014
UR  - https://www.degruyter.com/view/j/teme.2014.81.issue-11/teme-2014-1051/teme-2014-1051.xml
SN  - 2196-7113
SS  - 2196-7113
U6  - https://doi.org/https://doi.org/10.1515/teme-2014-1051
DO  - https://doi.org/https://doi.org/10.1515/teme-2014-1051
VL  - 81
IS  - 11
SP  - 554
EP  - 559
ER  -