TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Sehestedt, Christian A1 - Himmel, Jörg A1 - Lohmeier, F.J. A1 - Liu, Zhongdong T1 - Dry pressure sensor based on a spread electromagnetic field Y1 - 2005 VL - 2005 CY - Nürnberg ER -