Super-Photolumineszenz-Effekte in GaN-Schichten bei erhöhter Temperatur
Super-photoluminescence-effects in GaN-layers at elevated temperature
- LEDs gelten als umweltfreundliche Beleuchtungstechnik. Für die Massenanwendung arbeiten die LED-Hersteller an einer Senkung der Kosten bzw. einer Erhöhung der Ausbeute, insbesondere bei der aufwendigen LED-Kristallbeschichtung auf den Wafern. Während der Beschichtung (MOCVD) werden optische In-situ-Messgeräte zur Überwachung des Prozesses genutzt. Die hier vorgestellte Untersuchung beschäftigt sich mit dem Einfluss von Super-Photolumineszenz-Effekten bei einer möglichen In-situ-Prozesskontrolle in der MOCVD.
Author: | Christoph Prall, Ingo Noevermann, Dirk Rueter |
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URL: | https://www.degruyter.com/view/j/teme.2014.81.issue-11/teme-2014-1051/teme-2014-1051.xml |
DOI: | https://doi.org/https://doi.org/10.1515/teme-2014-1051 |
ISSN: | 2196-7113 |
Parent Title (Multiple languages): | Technisches Messen |
Document Type: | Article |
Language: | Multiple languages |
Year of Completion: | 2014 |
Date of first Publication: | 2019/02/05 |
Release Date: | 2019/02/05 |
Volume: | 81 |
Issue: | 11 |
First Page: | 554 |
Last Page: | 559 |
Institutes: | Fachbereich 4 - Institut Mess- und Senstortechnik |
DDC class: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
Licence (German): | No Creative Commons |