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Super-Photolumineszenz-Effekte in GaN-Schichten bei erhöhter Temperatur

Super-photoluminescence-effects in GaN-layers at elevated temperature

  • LEDs gelten als umweltfreundliche Beleuchtungstechnik. Für die Massenanwendung arbeiten die LED-Hersteller an einer Senkung der Kosten bzw. einer Erhöhung der Ausbeute, insbesondere bei der aufwendigen LED-Kristallbeschichtung auf den Wafern. Während der Beschichtung (MOCVD) werden optische In-situ-Messgeräte zur Überwachung des Prozesses genutzt. Die hier vorgestellte Untersuchung beschäftigt sich mit dem Einfluss von Super-Photolumineszenz-Effekten bei einer möglichen In-situ-Prozesskontrolle in der MOCVD.

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Metadaten
Author:Christoph Prall, Ingo Noevermann, Dirk Rueter
URL:https://www.degruyter.com/view/j/teme.2014.81.issue-11/teme-2014-1051/teme-2014-1051.xml
DOI:https://doi.org/https://doi.org/10.1515/teme-2014-1051
ISSN:2196-7113
Parent Title (Multiple languages):Technisches Messen
Document Type:Article
Language:Multiple languages
Year of Completion:2014
Date of first Publication:2019/02/05
Release Date:2019/02/05
Volume:81
Issue:11
First Page:554
Last Page:559
Institutes:Fachbereich 4 - Institut Mess- und Senstortechnik
DDC class:600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 621.3 Elektrotechnik, Elektronik
Licence (German):License LogoNo Creative Commons