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MeHRWert Ausgabe 6 März 2015
(2015)
MeHRWert Ausgabe 5 Juni 2014
(2014)
MeHRWert Ausgabe 3 Juni 2013
(2013)
Photolumineszenz (PL) aus Halbleiterstrukturen liefert Informationen bezüglich verschiedener Materialparameter wie z.B. Bandlücke, Schichtdicke sowie Temperatur. PL-Messungen werden klassischerweise erst ex situ und somit nach dem Produktionsprozess vorgenommen. Wird eine derartige PL-Messung während der Epitaxie einer Halbleiterstruktur und den damit verbundenen hohen Wachstumstemperaturen durchgeführt, erlaubt dies eine quasi-kontinuierliche In-situ-Charakterisierung der optoelektronischen Eigenschaften dieser Struktur zum frühestmöglichen Zeitpunkt, also noch in der Produktionsphase. Hierdurch wird eine In-situ-Optimierung der Prozessparameter ermöglicht, welche bei einer Ex-situ-Messung nicht gegeben ist. Die vorliegende Arbeit beschreibt zunächst theoretisch und dann anhand praktischer Messungen an industrienahen Epitaxie-Anlagen erstmals eine quasi-kontinuierliche In-situ-PL-Messung am Beispiel von wachsenden Nitrid-Halbleiterstrukturen. Über zeitaufgelöste PL-Messungen wird ein temperaturabhängiger Quenching-Mechanismus bei Gallium-Nitrid (GaN) und Indium-Gallium-Nitrid (InGaN) aufgezeigt, welcher den Einsatz von gepulsten Lasern als PL-Anregungsquelle bei hohen Wachstumstemperaturen einer Epitaxie erforderlich macht. Mit In-situ-PL-Messungen können hierdurch erstmals verschiedene Parameter einer gerade wachsenden Halbleiterschicht charakterisiert werden. Neben der Bestimmung der Temperatur und der Schichtdicke einer wachsenden, auf InGaN basierten LED-Struktur wird auch die Möglichkeit demonstriert, in einem frühen Stadium des Wachstums einer LED-Struktur ihre spätere Emissionswellenlänge bei Raumtemperatur vorherzusagen, und dies mit einer Genauigkeit von ± 1,3 nm (2σ). Diese Arbeit zeigt somit neben den industriell etablierten Messtechniken, wie z.B. pyrometrische Verfahren, eine weitere Möglichkeit zur Prozessüberwachung einer Epitaxie auf.
Editorial
Jörg Himmel, Olfa Kanoun, Thomas Seeger, Klaus Thelen IEEE Workshop on Industrial and Medical Measurement and Sensor Technology – SENSORICA 2016 1
Beiträge Jan Taro Svejda, Andreas Rennings, Daniel Erni A metamaterial based dual-resonant coil element for combined sodium/hydrogen MRI at 7 Tesla 2
Fabian Feldhaus, Ingo Schmitz, Thomas Seeger Emission spectroscopy based sensor developed for engine testing 13
Anne-Sophie Rother, Thomas Dietz, Peter Kohns, Georg Ankerhold Molecular laser-induced breakdown spectroscopy for elemental analysis 23
Johannes Kiefer, Andreas Bösmann, Peter Wasserscheid Quantitative measurement of complex substances dissolved in an ionic liquid using IR spectroscopy and chemometrics 32
Oliver Gieseler, Hubert Roth, Jürgen Wahrburg Methods to determine the scaling factor in X-ray images for exact preoperative planning in hip surgery 38
Erwin Gerz, Matthias Mende, Hubert Roth Development of an optical tracking system for a novel flexible and soft manipulator with controllable stiffness for minimal invasive surgery (MIS) 47
Jens Weidenmüller, Christian Walk, Özgü Dogan, Pierre Gembaczka, Alexander Stanitzki, Michael Görtz Telemetric multi-sensor system for medical applications – The approach 53
Inga-Maria Eichentopf, Martin Reufer Measurement and analysis of wavefront structures of diode lasers 59